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アプリケーション事例

業界別アプリケーション一覧

半導体

フィルム板、樹脂板の色判別

フィルム板、樹脂板等の色判別を色比率と明度で判別します。

カセット内のガラス残留検出

薄形超音波センサでカセットの底から上方へ検出します。

シリコンウェハー通過検出

検出物体の表面に水滴が付着しても安定検出します。

ガラス基板の一括検出

カセットに入った状態でガラス基板を一括検出します。

ガラスウェハ検出

超音波センサにより水滴の付着したウェハも確実に検出します。

シリコンウェハ検出

ライン下部より小形超音波センサで検出します。

液晶ガラスの検出

液晶ガラスのマッピングを行います。ソリの大きい大型基板も安定して検出できます。

レジスト液の残量検出

ICのピンの検出

レーザ式アナログセンサでIC のピンを検出します。

ICフレームのピッチ穴検出

レンズユニットとの組み合わせで小さい穴も確実に検出します。

ウェハのノッチ検出

同軸反射タイプのファイバとレンズユニットで小スポットで検出します。

CD-ROM のソリ検出

円周上のソリを検出します。

ガラス基板のはみ出し検出

カセットからの基板はみ出しを狭視界ファイバで検出します。

ロボットアーム組み込みセンサ

限定反射形ファイバをアームに組み込んでいます。

ICテスタでのワーク検出

IC の通過を検出します。

キャリア内ウェハの検出

ウェハのエッジを検出します。

透明スティック内のIC検出

超薄形センサはスティックとの間に設置できます。

洗浄槽内でのウェハ検出

PFA 製センサを槽内に設置します。

ウェハの一括検出

カセットに入った状態でウェハ有無を一括検出しマッピングします。

リードフレームの検出

リードフレームの下側から検出します。2mm の薄型ヘッドです。

液晶ガラス基板検出

真空チャンバー内でガラス基板を検出します。

リードフレーム上のチップ検出

可変スポット形の反射形レーザセンサでチップ部品の有無を検出します。

ウェハの飛び出し検出

ウェハの浮き上がりを検出します。

真空槽内でのLCD基板検出

汎用ファイバでビューポート越しにV形正反射方式で検出します。

ハードディスクのマッピング

液晶ガラス基板センサの小ピッチタイプです。

ロボットハンドの検出

ガラス基板を載せたロボットハンドを検出しXYステージを停止します。

ウェハキャリヤ検出

真空槽のビューポート越しにウェハキャリヤを検出します。

ウェハ位置検出

狭視野ファイバにより高精度で検出できます。

真空槽内でのウェハ検出

V字形に設定した耐熱真空ファイバです。
限定反射となり背景の影響を受けません。

ウェハ検出

耐熱真空透過形ファイバセンサで真空槽内のウェハを検出します。

エッジ検出用アナログセンサを使用した蛇行制御

エッジ検出用アナログセンサを使用した蛇行制御