ウェハ検出
ウエハの検出によりキャリアの移動制御を行います。
レーザの細径スポットにより確実に検出します。
カセット内のガラス残留検出
薄形超音波センサでカセットの底から上方へ検出します。
ウェハキャリア内のウェハ検出
ウェハの有無をセンサ光軸を斜めとして検出します。
ガラス基板の一括検出
カセットに入った状態でガラス基板を一括検出します。
ガラスウェハ検出
超音波センサにより水滴の付着したウェハも確実に検出します。
シリコンウェハ検出
ライン下部より小形超音波センサで検出します。
液晶ガラスの検出
ロングタイプのコームセンサで液晶ガラスのマッピングを 行います。ソリの大きい大型基板も安定して検出できます。
レジスト液の残量検出
ＩＣピンのソリ測定
高速レーザ変位計でピンのソリをチェックします。
ＩＣフレームのピッチ穴検出
レンズユニットとの組合わせで小さい穴も確実に検出します。
ウェハのノッチ検出
同軸反射タイプのファイバとレンズユニットで小スポットで検 出します。
CD-ROMのソリ検出
円周上のソリを検出します。
ガラス基板のはみ出し検出
カセットからの基板はみ出しを狭視界ファイバで検出します。
ロボットアーム組込みセンサ
限定反射形ファイバをアームに組込んでいます。
ＩＣテスタでのワーク検出
薄いICの通過を検出します。
キャリア内ウェハの検出
ウェハのエッジを検出します。
透明スティック内のＩＣ検出
超薄形センサはスティックとの間に設置できます。
洗浄槽内でのウェハ検出
PFA製センサを槽内に設置します。
ウェハの一括検出
カセットに入った状態でウェハ有無を一括検出しマッピングし ます。
リードフレームの検出
リードフレームの下側から検出します。2mmの薄型ヘッドで す。
ＰＤＰ用ガラス基板検出
真空チャンバー内でガラス基板を検出します。
リードフレーム上のチップ検出
可変スポット形の反射形レーザセンサでチップ部品の有無を検 出します。
ウェハの飛び出し検出
ウェハの浮き上がりを検出し、トラブルを防止します。
真空槽内でのＬＣＤ基板検出
汎用ファイバでビューポート越しにＶ形正反射方式で検出しま す。
ハードディスクのマッピング
液晶ガラス基板センサの小ピッチタイプです。
ロボットハンドの検出
ガラス基板を載せたロボットハンドを検出しＸＹステージを停 止します。
ウェハキャリヤ検出
真空槽のビューポート越しにウェハキャリヤを検出します。
ウェハ位置検出
狭視野ファイバにより高精度で検出できます。
真空槽内でのウェハ検出
Ｖ字形に設定した耐熱真空ファイバです。
限定反射となり背景の影響を受けません。
ウェハ検出
耐熱真空透過形ファイバセンサで真空槽内のウェハを検出しま す。
