検出対象 ウエハの種類 |
8インチウエハ (ノーマルモード:透過率30%以下/ラッチモード:透過率70%以下) |
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検出チャンネル数 | 26ch |
ピッチ | 6.35mm |
検出方式 | 透過形 |
コーム部 | 脱着式 |
操作電源 | DC24V ±10% リップル10%以下 |
消費電力 | 1.8W以下 |
動作モード | ダークオン 出力ノーマルモード/出力ラッチモード切換動作(スイッチ切換) 異常出力 異常時オン |
出力モード | NPNオープンコレクタ出力 定格:シンク電流 20mA(DC30V)以下 |
応答時間 | 12ms以下 |
投光用光源(波長) | 赤外LED(870nm) |
投光停止入力 再ティーチング兼用 |
オープンコレクタ入力または接点入力 投光停止ON:1.5V以下 OFF:4V以上 出力ノーマルモード:ONで投光停止/OFFで再ティーチング 出力ラッチモード:ONで出力ラッチ解除及び投光停止/OFFで再ティーチング |
出力停止入力 | オープンコレクタ入力または接点入力 出力停止ON:1.5V以下 OFF:4V以上 |
接続方式 | コネクタ付きコード引出し式(富士通製FCN-361J040-AU) コード長:0.5m |
材質 | センサユニット(コーム):ポリカーボネイト、ケース:アルミ |
質量 | 約260g |
付属品 | 取扱説明書 |
使用周囲温度 | -10~+55℃(氷結しないこと) |
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使用周囲湿度 | 35~85%RH(結露しないこと) |
保護構造 | IP40 |
使用周囲照度 | 1500 lx 以下 |
耐振動 | 10~55Hz 複振幅0.5mm X、 Y、 Z 方向 各 2 時間 |
耐衝撃 | 300m/s2 X、 Y、 Z 方向 各 3 回 |