| 検出対象 ウエハの種類 |
12インチウェハ （ノーマルモード：透過率30％以下／ラッチモード：透過率70％以下） |
|---|---|
| 検出チャンネル数 | 25ch |
| ピッチ | 10.0mm |
| 検出方式 | 透過形 |
| コーム部 | 脱着式 |
| 操作電源 | DC12～24V ±10% リップル10%以下 |
| 消費電力 | 1.9W以下 |
| 動作モード | ダークオン 出力ノーマルモード/出力ラッチモード切換動作（スイッチ切換） 異常出力 異常時オン |
| 出力モード | NPNオープンコレクタ出力 定格：シンク電流30A（DC30V）以下 |
| 応答時間 | 35ms以下 |
| 投光用光源（波長） | 赤外LED(870nm) |
| 投光停止入力 再ティーチング兼用 |
オープンコレクタ入力または接点入力 投光停止ON：1.5V以下 OFF：4V以上 出力ノーマルモード：ONで投光停止／OFFで再ティーチング 出力ラッチモード：ONで出力ラッチ解除及び投光停止／OFFで再ティーチング |
| 出力停止入力 | オープンコレクタ入力または接点入力 出力停止ON：1.5V以下 OFF：4V以上 |
| 接続方式 | コネクタ式 オムロンMILコネクタ XG4A-3031 |
| 材質 | センサユニット（コーム）：ポリカーボネイト、ケース：アルミ |
| 質量 | 約270g（ケーブル除く） |
| 付属品 | 取扱説明書 |
| 使用周囲温度 | －10～＋55℃（氷結しないこと） |
|---|---|
| 使用周囲湿度 | 35～85％RH（結露しないこと） |
| 保護構造 | IP40 |
| 使用周囲照度 | 1500 lx 以下 |
| 耐振動 | 10～55Hz 複振幅0.5mm X､ Y､ Z 方向 各 2 時間 |
| 耐衝撃 | 300m/s2 X､ Y､ Z 方向 各 3 回 |