| 検出対象ウエハの種類 | 8インチウエハ 出力ノーマルモード：透過率70％以下 ※ 出力ラッチモード：透過率70％以下 （ティーチング入力時：透過率15％以下） |
|---|---|
| 検出チャンネル数 | 25ch |
| ピッチ | 6.35mm |
| 検出方式 | 透過形 |
| コーム部 | 脱着式 |
| 操作電源 | DC24V ±10% リップル10%以下 |
| 消費電力 | 1.8W以下 |
| 動作モード | ダークオン 出力ノーマルモード/出力ラッチモード切換動作（スイッチ切換） 異常出力 異常時ON |
| 出力モード | NPNオープンコレクタ出力 定格：シンク電流 20mA（DC30V）以下 |
| 応答時間 | 12ms 以下 |
| 投光用光源 | 赤外LED |
| ティーチング入力 | オープンコレクタまたは接点入力 ティーチング入力ON：1.5V以下 OFF：4V以上 出力ノーマルモード：ON 投光停止 / ON⇒OFF 再ティーチング 出力ラッチモード：OFF⇒ON 出力ラッチ解除 / ON⇒OFF 再ティーチング |
| 出力停止入力 | オープンコレクタまたは接点入力 出力停止ON：1.5V以下 OFF：4V以上 |
| 接続方式 | コネクタ付きコード引出し式（オータックス製 N364J040AU） コード長：3m |
| 材質 | センサユニット（コーム）：ポリカーボネイト（PC）、ケース：アルミ |
| 質量 | 約390g |
| 付属品 | 取扱説明書 |
※ 3M社製 RE70NEAR（透過率70%）/ RE70NEAR、RE20NEAR（透過率14%）を使用
| 使用周囲照度 | 1,500lx以下 |
|---|---|
| 使用周囲温度 | -10～+55℃（氷結しないこと） |
| 使用周囲湿度 | 35～85％RH（結露しないこと） |
| 保護構造 | IP40 |
| 耐振動 | 10～55Hz 複振幅0.5mm X、Y、Z方向 各2時間 |
| 耐衝撃 | 300 m/s2 X、Y、Z方向 各3回 |