ASW-SGシリーズ
ウエハマッピングセンサ
ASW-SGシリーズ ラインナップ
特長
一括マッピング方式でタクトタイム短縮!
外形寸法図
ASW-SG625AP
図中のセンサーユニット部寸法はユニットの尖端部(※1)ではなく、下端部(※2)での寸法です。
ASW-SG85F
ASW-SG85F-Y05
ASW-SG86F
ASW-SG86F-Y05
図中のセンサーユニット部寸法はユニットの尖端部(※1)ではなく、下端部(※2)での寸法です。
ASW-SG125VF
図中のセンサーユニット部寸法はユニットの尖端部(※1)ではなく、下端部(※2)での寸法です。
交換用センサユニット
ASW-F2500
交換用センサユニット
ASW-F1600
回路図/接続方法
ASW-SG625AP
ASW-SG85F
ASW-SG86F
ASW-SG85F-Y05
ASW-SG86F-Y05
ASW-SG125VF
※センサのアルミケースはノイズ対策として電源0 Vとアルミケース間にコンデンサが挿入されています。
センサ電源及び入出力とアルミケース間に対して耐電圧試験を行わないでください。