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製品情報

ASW-SG85H/86Hシリーズ
ウエハマッピングセンサ

  • SiCウエハ・Siウエハ・半透明ウエハ・サファイアウエハを一括検出
  • ノーマルモード・ラッチモードともに、透過率70%以下のウエハに対応
  • SiウエハとSiCウエハの判別が可能
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ASW-SG85H/86Hシリーズ ラインナップ

型式 種類 操作電源 検出方式 検出距離min(mm) 検出距離(mm) 出力モード 光源 接続方式 用途 標準価格(¥) ダウンロード
ASW-SG85H
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ウエハ検出 DC24V 透過形 NPN 赤外LED コネクタ付きコード引出し式 半導体 お問い合わせください
ASW-SG85H-Y05
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ウエハ検出 DC24V 透過形 NPN 赤外LED コネクタ付きコード引出し式 半導体 お問い合わせください
ASW-SG86H
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ウエハ検出 DC24V 透過形 NPN 赤外LED コネクタ付きコード引出し式 半導体 お問い合わせください
ASW-SG86H-Y05
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ウエハ検出 DC24V 透過形 NPN 赤外LED コネクタ付きコード引出し式 半導体 お問い合わせください

特長

外形寸法図

ASW-SG85H
ASW-SG85H-Y05
ASW-SG86H
ASW-SG86H-Y05

回路図/接続方法

入出力回路

※アルミケースと電源 0 V との間にはノイズ対策としてコンデンサが挿入されています。

半導体

ウエハ検出

櫛歯形状のセンサで、カセット内のウエハを一括検出します。