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製品情報

半透明ウエハを最新の光学機能で一括マッピング

ウエハマッピングセンサは、半導体部品の製造・搬送設備や液晶搬送設備で、カセットやFOUPと呼ぶ保管箱に一定間隔で収納されている複数枚の半導体ウエハの有無や枚数を一括検出するためのセンサです。

●サイズに合わせて選択できる

ウエハマッピングセンサ”ASW-SGシリーズ“は、薄い円盤状の半導体ウエハのサイズ毎に6インチ用、8インチ用、12インチ用をラインアップ。

●一括マッピング方式でタクトタイムを短縮

簡単な操作で設定を行うオートティーチングを装備しています。光軸の細いファイバセンサやレーザ式光電センサに比べて設定が容易で、反射形センサに比べてウエハ端面の形状の影響を受けにくい特長があります。

一括マッピング方式でタクトタイムを短縮

●半透明ウエハ対応の検出モードを装備

現在の主流材料である半導体シリコンウエハに加え、次世代半導体材料のSiC(シリコンカーバイド)や、近年増加しているサファイヤウエハなど、従来透過形では安定検出が難しいとされていた高透過率の半透明ウエハを、ラッチ検出モードで確実に検出する事ができます。

●交換可能なセンサ検出部でメンテナンス性万全

センサ検出部(コーム部)が取り外し可能です。センサ本体の配線作業なしに不具合のセンサ検出部のみ交換できます。日常の保守点検や不具合時の装置の休止時間の短縮化に貢献します。

交換可能なセンサ検出部でメンテナンス性万全

●静電気による誤動作防止

センサ検出部(コーム部)に、電子部品がない設計のため、静電気による誤動作やコーム部の静電破壊を防止しま。

静電気による誤動作防止

●その他の特長

  • 出力停止入力
    センサの動作に関係なく全出力をOFFにできます。2台のセンサ出力をパラレル接続して1台分のI/Oで入力制御を行う事ができます。
  • リモートティーチング&投光停止入力
    投光を強制的に停止して全チャンネルをONにすることで出力チェックを行う事ができます。また、投光停止入力を解除すると再ティーチングを行いますので常に最適感度で使用する事ができます。
  • 異常出力&自己診断出力機能
    ティーチング時にセンサの異常を警告する機能を装備しています。各チャンネルの状態、入光量不足、コーム部破損による光量異常、外乱光の影響などを、異常が発生した出力のON/OFFを繰り返して知らせます。
  • CEマーキング取得
    8インチ、12インチタイプはCEマーキングを取得しています。EU諸国への輸出も安心です。
  • ロボットケーブル&各チャンネル出力
    6インチ・8インチタイプは、可動使用を考慮し耐屈曲ロボットケーブルを使用しています。
    6インチ・8インチ・12インチタイプに、各チャンネルI/O出力を採用。

おすすめの製品ラインナップ

●ウエハマッピングセンサ

ASW-SGシリーズ

ASW-SGシリーズ

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  • SiCウエハ・サファイアウエハ・シリコンウエハ・半透明ウエハなど安定検出
  • センサ検出部(コーム部)をワンタッチ交換
    ・センサ全体を取り換える必要はありません。
    ・メンテナンスのコストダウンにつながります。
  • 安定検出に優れた透過形
  • 設定が容易でウエハ端面の影響を受けません。
  • カセット内のウエハを一括で検出します。
    ・行程作業時間(タクトタイム)を短縮します。 ハードディスクのマッピング

●距離設定形ディスタンスセンサ

DN-S10R / DN-S30R

DN-S10R/S30シリーズ

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  • 三角測距方式の採用
    ・ウエハの色や背景物体の反射光の影響を受けにくい。
  • 保護構造IP67
    ・水洗いが可能なIP67耐水構造です。
  • 光学可変式アンプ内蔵形
  • ウエハカセットの有無・通過検出ウェハキャリヤ検出

●耐油・耐薬品対応途アンプ内蔵形光電子センサ

PF-T3DS / PF-R03S

PFシリーズ

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  • フッ素樹脂(PFA)製の外装ケースにとチューブに収納して耐油・耐薬品性を強化。
    ・耐油、耐薬品性抜群。液中使用も可能。
  • アンプ内蔵形で、0.35msの高速応答。
  • 外付け感度調整方式を採用(オプション)
  • 洗浄槽内でウエハ検出
    ・水洗いが可能なIP67耐水構造です。洗浄槽内でのウェハ検出

●搬送ライン・搬送装置のドグ検出用

AS-U25

AS-U25

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  • 光軸調整不要
  • アンプ内蔵形で高速応答0.35ms
  • 回転円盤の穴の有無検出や原点検出
    ・ドグの通過・位置検出に最適です。シャフトの回転読み取り用センサ

●ガラス検出専用アンプ内蔵形光電子センサ ASGシリーズ

ASG-S20R / ASG-Z15R

ASGシリーズ

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  • 傾いている透明ガラスを確実に検出
    ・ロボットハンド埋め込みに最適です。
  • 独自の光学系によりガラスのソリ・傾きにも安定検出
    投光LEDを2個使用し、角度を持ったガラスを確実に検出。
  • 厚さ4mmの薄形アンプ内蔵形センサ
  • ロボットハンド埋め込みに最適液晶ガラスの検出

●アンプ内蔵形超音波センサ(アンプ内蔵形・アナログ出力)

US-S25AN

US-S25AN

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  • ウエハの色や透明度に影響を受けない超音波センサ
  • 取り付け易いM18シリンダ形
  • 小形、ローコストで距離比例アナログ出力が得られる
  • ウエハの有無・通過検出シリコンウェハ検出

●ファイバセンサを使用した用途例紹介

ハイパワーと高分解能を両立
高機能対応
F100R

F100Rシリーズ

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高速応答性と通信書き込み機能装備
スタンダードタイプ
F90R

F90Rシリーズ

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簡単操作でローコスト
分かりやすいインターフェース
F80R

F80Rシリーズ

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  • 透過形ファイバでウエハ検出 ウェハ位置検出
  • 耐熱・耐真空ファイバで真空槽内でのウエハ検出 真空槽内でのウェハ検出
  • 水、油、薬品、薬液などほとんどの液体で使用可能
    液面検出、レベル検出用途に最適 タンク内液面検出