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製品情報

ASW-SGシリーズ
ウエハマッピングセンサ

  • SiCウエハ・サファイアウエハ・シリコンウエハ・半透明ウエハなどを安定検出
  • 6・8・12インチウエハ対応
  • 半透明ウエハ対応の検出モード装備(8・12インチ用)
  • コーム部の静電破壊を防止(6・8・12インチ用)
規格・検定
  • CE マーク
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ASW-SGシリーズ ラインナップ

形式 種類 操作電源 検出方式 検出距離min(mm) 検出距離(mm) 出力モード 光源 接続方式 用途 価格(¥) ダウンロード
ASW-SG625AP
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ガラス・ウエハ検出 DC24V 透過形 NPN 赤外LED コネクタ付きコード引出し式 半導体・液晶 お問い合わせください
ASW-SG85F
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ガラス・ウエハ検出 DC24V 透過形 NPN 赤外LED コネクタ付きコード引出し式 半導体・液晶 お問い合わせください
ASW-SG85F-Y05
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ガラス・ウエハ検出 DC24V 透過形 NPN 赤外LED コネクタ付きコード引出し式 半導体・液晶 お問い合わせください
ASW-SG86F
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ガラス・ウエハ検出 DC24V 透過形 NPN 赤外LED コネクタ付きコード引出し式 半導体・液晶 お問い合わせください
ASW-SG86F-Y05
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ガラス・ウエハ検出 DC24V 透過形 NPN 赤外LED コネクタ付きコード引出し式 半導体・液晶 お問い合わせください
ASW-SG125VF
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ガラス・ウエハ検出 DC12~24V 透過形 NPN 赤外LED コネクタ式 半導体・液晶 お問い合わせください

特長

一括マッピング方式でタクトタイム短縮!

外形寸法図

ASW-SG625AP

図中のセンサーユニット部寸法はユニットの尖端部(※1)ではなく、下端部(※2)での寸法です。

ASW-SG85F
ASW-SG85F-Y05
ASW-SG86F
ASW-SG86F-Y05

図中のセンサーユニット部寸法はユニットの尖端部(※1)ではなく、下端部(※2)での寸法です。

ASW-SG125VF

図中のセンサーユニット部寸法はユニットの尖端部(※1)ではなく、下端部(※2)での寸法です。

交換用センサユニット
ASW-F2500

交換用センサユニット
ASW-F1600

回路図/接続方法

ASW-SG625AP
ASW-SG85F
ASW-SG86F
ASW-SG85F-Y05
ASW-SG86F-Y05

ASW-SG125VF

※センサのアルミケースはノイズ対策として電源0 Vとアルミケース間にコンデンサが挿入されています。
センサ電源及び入出力とアルミケース間に対して耐電圧試験を行わないでください。

コネクター外部接続図

半導体

ガラス基板の一括検出

カセットに入った状態でガラス基板を一括検出します。

半導体

ウェハの一括検出

カセットに入った状態でウェハ有無を一括検出しマッピングします。

半導体

ハードディスクのマッピング

液晶ガラス基板センサの小ピッチタイプです。

半導体

半透明ウエハのマッピング

ラッチ機能により半透明ウエハなどを一括枚数検出します。
安定検出に優れた透過方式を採用しています。