半透明ウエハを最新の光学機能で一括マッピング

ウエハマッピングセンサは、半導体部品の製造・搬送設備や液晶搬送設備で、カセットやFOUPと呼ぶ保管箱に一定間隔で収納されている複数枚の半導体ウエハの有無や枚数を一括検出するためのセンサです。

ウエハマッピングセンサ”ASW-SGシリーズ“は、薄い円盤状の半導体ウエハのサイズ毎に６インチ用、８インチ用、１２インチ用をラインアップ。

簡単な操作で設定を行うオートティーチングを装備しています。光軸の細いファイバセンサやレーザ式光電センサに比べて設定が容易で、反射形センサに比べてウエハ端面の形状の影響を受けにくい特長があります。

現在の主流材料である半導体シリコンウエハに加え、次世代半導体材料のSiC（シリコンカーバイド）や、近年増加しているサファイヤウエハなど、従来透過形では安定検出が難しいとされていた高透過率の半透明ウエハを、ラッチ検出モードで確実に検出する事ができます。

センサ検出部（コーム部）が取り外し可能です。センサ本体の配線作業なしに不具合のセンサ検出部のみ交換できます。日常の保守点検や不具合時の装置の休止時間の短縮化に貢献します。

センサ検出部（コーム部）に、電子部品がない設計のため、静電気による誤動作やコーム部の静電破壊を防止します。

出力停止入力
センサの動作に関係なく全出力をOFFにできます。２台のセンサ出力をパラレル接続して１台分のＩ／Ｏで入力制御を行う事ができます。
リモートティーチング＆投光停止入力
投光を強制的に停止して全チャンネルをＯＮにすることで出力チェックを行う事ができます。また、投光停止入力を解除すると再ティーチングを行いますので常に最適感度で使用する事ができます。
異常出力＆自己診断出力機能
ティーチング時にセンサの異常を警告する機能を装備しています。各チャンネルの状態、入光量不足、コーム部破損による光量異常、外乱光の影響などを、異常が発生した出力のＯＮ／ＯＦＦを繰り返して知らせます。
ＣＥマーキング取得
８インチ、１２インチタイプはＣＥマーキングを取得しています。ＥＵ諸国への輸出も安心です。
ロボットケーブル＆各チャンネル出力
６インチ・８インチタイプは、可動使用を考慮し耐屈曲ロボットケーブルを使用しています。
６インチ・８インチ・１２インチタイプに、各チャンネルＩ／Ｏ出力を採用。